韦杨杰,高先和,杨冰洁,朱小漫,刘凯,汪海

• 1:合肥学院先进制造工程学院

摘要(Abstract)：

针对国内芯片制造业中对标准气体的需求，在传统的单路配气系统上，研发了多路输入混合标准气体配置系统.运用热式气体毛细管温度衰减测量技术、气体质量流量分比和气体滞后性补偿等原理，构建了以主控制器、气体流量控制系统为一体的闭环配气控制系统.同时通过不同量程的稀释气体的配置，对比了基于数据融合算法和均值滤波算法下的气体流量控制误差，分别为±0.3%和±0.8%.实验表明该系统稳定，误差范围在±0.3%,响应时间不超过30 s.

关键词(KeyWords)： 气体流量控制;滞后补偿;数据融合处理算法;芯片制造

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 安徽省高等学校省级质量工程项目(2021jxt);; 安徽省高等学校校级研究生协同育人基地建设项目(2021Yxt)

作者(Author): 韦杨杰,高先和,杨冰洁,朱小漫,刘凯,汪海

DOI: 10.16393/j.cnki.37-1436/z.2023.02.003

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